《金基研》天涯/作者 杨起超 时风/编审

经过多年的发展和兼并收购，全球工业气体市场已经形成了少数几家气体生产企业占据全球市场大多数份额的市场格局。特种气体是集成电路、显示面板、光伏能源等半导体行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料，被誉为“工业气体皇冠上的明珠”，广泛应用于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺。随着国内供给侧改革的深入，国内特种气体的发展潜力巨大。广东华特气体股份有限公司（以下简称“华特气体”）抓住行业发展机遇，不断发展壮大。

作为国内特种气体国产化的先行者，华特气体在特种气体领域持续进行研发投入和技术创新，积累了大量的技术基础和工艺经验，实现了高纯一氧化碳、高纯一氧化氮等近20个产品的进口替代。同时，华特气体持续扩大产品种类，是同行业上市公司中产品种类最多的公司，能满足客户多样化的用气需求。目前，华特气体的核心技术关键指标处于行业领先地位，凭借雄厚的技术实力，华特气体逐步成为标准制定者。

一、产品矩阵丰富种类超100种，实现数十个产品进口替代

在业务结构上，特种气体、普通工业气体和气体设备与工程构成了华特气体完整的业务体系，能为客户提供多种气体产品及相关设备、管道工程的配套服务。

特种气体业务是华特气体主营业务的核心。2019-2021年及2022年1-6月，华特气体特种气体收入分别为 4.48亿元、5.48亿元、7.97亿元、6.57 亿元，2020-2021年及2022年1-6月分别同比增长22.39%、45.31%、78.96%。

其中，2022年1-6月，华特气体电子特种气体收入增长明显，与上年同期相比，电子特种气体收入增长127.57%。

在产品种类上，由于气体产品的特殊性，每一产品的经营均需取得相应的危化品经营许可等资质，华特气体取得的生产、经营资质覆盖产品种类超过100种，是同行业上市公司中产品种类最多的公司，能有效满足客户的对产品品种的需求，产品种类优势明显。这些产品互相促进，能最大程度满足客户的品种需求。

目前，华特气体不少于15个产品已经批量供应14纳米先进工艺中使用，不少于10个产品供应到7纳米先进工艺中使用，2个产品进入到5纳米先进工艺中使用。第三代功率器件半导体方面，华特气体产品满足碳化硅（SiC）与氮化镓（GaN）等生产需求，进入到全国最大的氮化镓厂和碳化硅厂供应体系。

值得一提的是，华特气体是国内特种气体国产化的先行者，一直致力于电子特种气体国产化，并打破极大规模集成电路、新型显示面板等尖端领域气体材料进口制约，已逐步实现了高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、光刻气、高纯四氟化碳、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯八氟丙烷等近20种产品的进口替代。

同时，基于布局全产业链的战略考量，华特气体从纯化工艺切入合成工艺，合成的品类数量比例从上市前的5%增加到当前的20%，提升及补全供应链能力。

在产品性能上，华特气体的高纯六氟乙烷、高纯四氟化碳、高纯二氧化碳、高纯氨、高纯一氧化碳等多个产品均达到了质量要求最高的集成电路领域的要求。

此外，华特气体具备业内领先的物流配送能力，由近百辆槽车、货车组成的专业运输团队，半径200公里内均可一日送达，并通过物流运输信息系统的完善，提高了物流信息的准确性和及时性，做到产品销售与售后一体化。

多品种协同，以及供应和服务一体化，很大程度上提高了客户的生产工作效率，满足了客户的需求，形成了华特气体强大的产品和服务优势。

二、核心技术关键指标行业领先，逐步成为行业标准制定者

作为一家致力于特种气体国产化，并打破尖端领域气体材料进口制约的民族气体厂商，华特气体持续加大研发投入，不断地创新和研发实现更多产品进口替代。

据东方财富choice数据，2019-2021年及2022年1-9月，华特气体的研发投入分别为2,544.66万元、3,036.86万元、4,720.30万元、4,931.33万元，占营业收入的比例分别为3.02%、3.04%、3.50%、3.52%。

经过近三十年的发展，华特气体的技术积累日益深厚。截至2022年6月30日，华特气体累计取得158项专利，其中发明专利21项、134项实用新型专利及3项外观设计专利。

在气体纯化、气体混配、气瓶处理、分析检测等特种气体生产关键环节，华特气体形成了自身的核心技术，并不断对生产工艺、设备进行升级改造，将核心技术实现产业化应用。

在气体纯化技术领域：吸附方面，华特气体通过对分子筛种类、性能等的研发，杂质吸附水平高，如高纯四氟化碳中的卤代烃，华特气体可控制在0.5ppm（0.5*10^6），高于行业1-2ppm的吸附水平；精馏方面，华特气体能分离沸点相差2℃组分，高于分离沸点相差5℃的行业一般水平。

在气体混配技术领域：管线布局方面，华特气体根据气体性质进行针对性研究，真空环境可达0.01pa，高于行业一般的0.3pa；配气控制方面，华特气体可结合环境温度、湿度、风速等的影响，配气误差达到±2%以内，高于行业一般的±5%的误差水平。

在气瓶处理技术领域：研磨方面，华特气体可使光洁度达到0.1~0.5μm，高于行业一般的0.5μm；钝化方面，华特气体能使腐蚀性气体1年内量值变化不超过1%，高于行业一般的5%；抽真空方面，华特气体能使真空环境达0.01pa，高于行业一般的0.3pa。

在气体分析检测技术领域：相比于行业内一般的检测水平（检测精度为1-10ppb），华特气体对多种气体的检测精度可达0.1ppb，而且对于重组分检测、百分比浓度含氟量的检测等行业难题均建立了独特的检测方法。

凭借雄厚的技术实力，华特气体主持或参与制定包括多项电子工业用气体国家标准在内的47项标准，1项行业标准，1项国际标准和7项团体标准。

同时，华特气体承担了国家重大科技专项（02专项）中的《高纯三氟甲烷的研发与中试》课题等重点科研项目，还承担了广东省战略性新兴产业区域集聚发展试点（新一代显示技术）项目中的“平板显示器用特种气体”研发。华特气体于2017年、2019年、2021年作为唯一的气体公司连续三届入选“中国电子化工材料专业十强”。

此外，2020年，华特气体荣获第二十一届中国专利优秀奖、第七届广东专利奖金奖、佛山国家高新区2020年度领军企业、佛山国家高新区2020年度制造业单打冠军企业等多项荣誉；2021年，华特气体荣获第四届“IC创新奖”成果产业化奖、“十三五”中国气体行业分行业TOP10电子气体、气体行业专利奖金奖、广东省半导体突出贡献奖、2021年度全国气体标准化先进单位等荣誉。

未来，华特气体将继续致力于气体产业相关产品的研发与应用，持续加大在研项目的研发力度，不断地创新和研发实现更多产品进口替代。